因為滲氮技術能夠獲得很高水準的表面性能，而且滲氮技術的工藝跟精密零部件中鋼的淬火工藝有著非常高的協調一致性，而且滲氮的溫度是非常低的，這樣在經過滲氮技術處理后就并不需要激烈的冷卻工序，因此精密零部件的變形就會非常小，因而滲氮技術也是在精密零部件加工時用來強化表面性能采用最早的技術之一，也是目前應用最廣泛的。